Rotorový systém
Pohonným jádrem suché vakuové pumpy je přesně namontovaná sestava rotoru, která se obvykle skládá ze dvou až tří spirálových nebo zubovitých - rotorů. Tyto vysoce-přesné kovové rotory do sebe zapadají s mikronovými-vůlemi a využívají proti{4}}rotaci k pohánění plynu ze sacího otvoru směrem k výfukovému. Jedinečná konstrukce profilu rotorů-jako jsou evolventní nebo kruhové obloukové profily-určuje účinnost čerpání; rychlost otáčení může dosáhnout 3 000–6 000 ot./min. a jednostupňový{12}}kompresní poměr může přesáhnout 10:1.
Těsnicí struktura
Na rozdíl od olejových-utěsněných čerpadel si suchá čerpadla zachovávají vakuovou integritu prostřednictvím trojitého-těsnícího mechanismu:
Labyrintové těsnění: Vícestupňové, klikaté kanály umístěné na koncích rotoru využívají odpor proudění vzduchu k blokování úniku.
Plynová bariéra: Inertní plyn je vstřikován do kritických vůlí, aby se vytvořila pneumatická tlaková bariéra.
Specializované povlaky: Povrchy rotoru jsou potaženy materiály, jako je PEEK (polyetheretherketon), který zajišťuje odolnost proti opotřebení a snížený koeficient tření.
Tyto konstrukční vlastnosti udržují rychlost úniku pod 0,5 Pa·m³/s, čímž splňují přísné požadavky na čistotu v průmyslových odvětvích, jako je výroba polovodičů.
Chladicí modul: „Temperature Guardian“ pro nepřetržitý provoz
Vzhledem k absenci mazání na bázi oleje-vyžadují suchá čerpadla inteligentní systém řízení teploty:
Chlazení vzduchem: Žebra pro odvod tepla z hliníkové slitiny spárovaná s odstředivým ventilátorem odvádějí až 60 % generovaného tepla.
Vodní chlazení: Vnitřní smyčka cirkulace vody z měděných{0}trubek poskytuje účinnost výměny tepla, která je třikrát vyšší než u chlazení vzduchem.
Chlazení s{0}}fázovou změnou: Některé modely využívají technologii tepelných trubic, která dosahuje hodnoty tepelné vodivosti až 100krát vyšší než u čisté mědi.
