Vakuové vývěvy pracující při rychlostech dosahujících desítek tisíc otáček za minutu se typicky označují jako turbomolekulární vývěvy; jejich hlavní součástí je sestava rotoru, která se otáčí desetitisíckrát za minutu. Tento design způsobuje, že se molekuly plynu chovají, jako by byly zasaženy rychle se točící tenisovou raketou, a žene je nepřetržitě směrem k výstupu čerpadla. Moderní turbomolekulární čerpadla dokážou dosáhnout rychlosti otáčení až 90 000 otáček za minutu-, což odpovídá provedení 1 500 otáček za sekundu.
Jedinečné výhody-vysokotlakých čerpadel
Ultra{0}}vysoké úrovně vakua: Dosažitelné maximální úrovně vakua mohou dosáhnout o 10⁻⁸ Pascalů-o osm řádů vyšší hodnoty, než dosahují standardní mechanické pumpy.
Čisté a bez kontaminace-: Nevyžaduje žádný mazací olej, čímž zabraňuje zpětnému proudění olejových par a následné kontaminaci vakuového prostředí.
Rychlé čerpání: Dosahuje provozní úrovně vakua během pouhých tří minut od spuštění.
Více{0}}stupňová synergie: Dosahuje vysoce účinného čerpání prostřednictvím kombinovaného působení molekulárního odporu a mechanické komprese.
Typické aplikační scénáře
V polovodičovém průmyslu se tato zařízení používají pro procesy potahování plátků; ve vědeckém výzkumu pomáhají urychlovačům částic udržovat prostředí s ultra-vysokým vakuem. Lékařské CT skenery se na ně také spoléhají, aby zachovaly vakuovou integritu rentgenových trubic, zatímco infračervené detektory v astronomických pozorovacích přístrojích na nich závisí, aby eliminovaly tepelné šumové rušení způsobené molekulami vzduchu.
